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單晶爐技術(shù)參數(shù)
主爐室直徑：Φ600mm，700mm，
800mm，900mm；
加熱方式：惰性氣體環(huán)境中，石墨電阻加熱器；
晶體轉(zhuǎn)速：2-50rpm；
晶體拉速：0.2-8mm/min；
坩堝轉(zhuǎn)速：1-30rpm
坩堝升速：0.02-1mm/min
冷卻水溫度：50°C~70°C
冷卻水壓力：3~5bar
旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)速：20~110rpm
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